Air Liquide, 글로벌파운드리에 고순도 질소 공급

에어리퀴드가 세계 3대 파운드리(반도체 위탁생산) 업체인 글로벌파운드리(GlobalFoundries)를 위해 대규모 설비투자를 단행한다.

에어리퀴드는 최근 글로벌파운드리의 신규 싱가포르 생산설비와 기존 미국 뉴욕주 몰타 생산설비에 고순도 질소를 공급하기 위해 5000만유로(약 720억원) 이상을 투자한다고 밝혔다. 이번 프로젝트를 통해 글로벌파운드리는 파운드리 공정의 에너지 효율성 및 ESG 경쟁력을 한층 제고할 수 있을 것으로 기대된다.

먼저 에어리퀴드는 글로벌파운드리의 싱가포르 공장에 최신 설계를 적용해 전력소비량을 획기적으로 개서한 신규 플랜트를 건설한다. 정확한 질소 공급물량은 공개되지 않았지만 2026년 상용가동을 목표로 하고 있다.

또한 에어리퀴드는 글로벌파운드리와 몰타 설비에 고순도 가스를 공급하는 15년 장기계약을 체결했다. 이 기간 동안 에어리퀴드는 기존 질소플랜트의 에너지 효율성을 높이는 설비 고도화 작업을 진행할 계획이다.

에어리퀴드 관계자는 “20여년전부터 긴밀한 파트너십을 맺어온 글로벌파운드리와의 관계가 이번 신규 계약으로 더욱 공고해졌다”며 “신규 투자로 글로벌파운드리는 주목할 만한 탄소 배출 저감이 가능해질 것”이라고 말했다.

한편 글로벌파운드리는 2030년까지 전세계 생산라인의 총 온실가스 배출량을 25% 저감하는 계획을 추진하고 있다.