Linde, 中 GTA 반도체에 고순도 질소 제너레이터 2기 준공

린데가 지난해 유명 파운드리 업체 ASMC를 흡수합병한 중국 반도체기업 GTA 반도체의 상하이 공장에 신규 질소제너레이터 2기를 준공, 가동에 돌입했다고 최근 밝혔다.

상하이 남동부 링강개발특구에 들어선 이번 질소제너레이터는 GTA와의 20년 장기 산업용가스 공급계약에 따른 1단계 프로젝트로, 오는 2022년 2단계 프로젝트까지 완공되면 린데는 GTA 상하이 웨이퍼 생산라인에 전자·반도체용 초고순도 산소, 질소, 아르곤, 탄산과 압축건조공기(CDA)를 공급하게 된다.

린데 관계자는 “중국 전자·반도체 산업은 고성장이 예견되고 있는 분야”라며 “신규 질소제너레이터를 포함한 강력한 산업용가스 공급 네트워크를 바탕으로 이 분야에서 지속가능한 성장동력과 시장 리더십을 강화해 나갈 것”이라고 강조했다.