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에어리퀴드, 천안에 Kr·Xe 등 정제공장 착공

기사승인 2024.05.23  

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- 반도체·우주산업 분야에서 희귀가스 공급망 강화

2025년 본격 양산체제 돌입

   
 

에어리퀴드(Air Liquide)가 한국의 반도체 및 우주산업 분야의 수요 개척을 위해 최첨단 고순도 크립톤(Kr) 및 제논(Xe) 정제공장을 착공했다.

충남 천안에서 지난 3월 착공한 신규 정제공장은 극저온 분야에 대한 에어리퀴드의 전문 지식과 독점 기술을 바탕으로 오는 2025년부터 본격적인 양산을 계획 중이다. 이 신규 공장을 통해 에어리퀴드는 고순도 크립톤과 제논을 국내에서 생산할 수 있게 된다.

반도체 및 우주 산업 등 첨단기술에 주로 사용되는 희귀가스인 크립톤과 제논은 반도체 산업에서는 메모리칩 생산의 핵심 소재로 3D 낸드의 단수 증가에 핵심 공정인 수직 홀을 식각하는 공정에 주로 사용된다. 또한 우주산업에서는 위성의 전기 추진체에 무게를 줄이고 효율성을 높이는 기술의 하나로 크립톤과 제논이 사용되고 있다.

에어리퀴드의 관계자는 “신규 정제공장의 준공으로 희귀가스의 안정적인 공급을 촉진함으로써 한국 및 아시아의 희귀가스 공급망이 한층 더 강화될 것으로 전망된다”고 밝히고 “반도체 산업과 우주산업 분야에서 이러한 고부가가치 소재의 공급 신뢰성을 높이고 고순도 희귀가스 수요 확대에 대응할 수 있는 역량을 갖추는데 기여할 것”이라고 덧붙였다.

한편 지난 1996년 한국에 진출한 에어리퀴드는 국내 주요 산업분야(석유화학, 철강, 반도체, 자동차 제조 등)의 성장에 필요한 산업용 가스 및 관련 서비스를 제공해 오고 있으며 헬스케어 활동 부문에서도 입지를 확보하고 있다. 이와 함께 한국 수소 경제 발전의 초석을 다진 핵심 기여자로서 미래 친환경 에너지 사업의 토대를 마련하고자 노력하고 있다.

 

 

이락순 기자 rslee@igasnet.com

<저작권자 © 아이가스저널 무단전재 및 재배포금지>
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