Air Products, 대만 반도체 메이커와 초고순도 가스 공급 계약

에어프로덕츠는 최근 세계 톱티어 반도체 메이커와 산업용가스 공급 계약 체결에 성공했다고 밝혔다.

계약에 따라 에어프로덕츠는 대만 남부 항구도시인 가오슝에 건설될 신규 반도체 공장에 복수의 최신 온사이트 플랜트를 건설하고 초고순도(UHP) 질소·산소·아르곤·수소를 공급할 예정이다. 이를 위한 투자액은 무려 9억 달러(약 1조1500억원)에 달할 것으로 알려졌다.

에어프로덕츠는 고객사의 사명을 공개하지 않았지만 세계 최대 파운드리(반도체 위탁생산) 업체인 대만 TSMC라는 게 전문가들의 판단이다. 지난 4월 대만 현지 언론들로부터 TSMC가 가오슝에 300㎜ 웨이퍼 공장 건설을 추진한다는 뉴스가 전해졌기 때문이다. 오는 2023년 7월 완공 예정인 TSMC 가오슝 공자에서는 7나노와 28나노 반도체가 생산될 예정이다.

에어프로덕츠 관계자는 “수십년간 입증된 기술력과 노하우, 실적을 바탕으로 글로벌 반도체 시장을 선도하는 고객사의 선택을 받았다”며 “첨단 반도체 제조공정을 성공적으로 지원할 수 있도록 역량을 집중할 것”이라고 말했다.